PCB電路板失效分析方法
PCB電路板失效分析方法步驟包括以下幾個方面:
1.打開前檢查,外觀檢查,x光線檢查,掃描聲學顯微鏡檢查。
2.打開顯微鏡檢查。
3.電氣性能分析,瑕疵定位技術、電路分析及微探針分析。
4.物理分析,剝層、聚焦離子束(FIB),掃描電子顯微鏡(SEM),透射電子顯微鏡(SEM)、VC定位技術。
一、無損失效分析技術
1.外觀檢查,主要是依靠人眼檢查是否有明顯瑕疵,如塑脂封裝是否裂開,芯片引腳是否接觸良好。X射線檢查是利用X射線的透視性能對被測樣品進行X射線照射,樣品瑕疵部份會吸收X射線,導致X射線照射成像出現異常。X射線主要是檢查ic集成電路引線是否損壞問題。根據電子元器件的大小和結構選擇合適的波長,這樣能得到合適的分辨率。
2.掃描聲學顯微鏡,是利用超聲波探測樣品內部結構瑕疵,依據超聲波的反射找出樣品內部結構瑕疵所在位置,這種方法主要是用主ic集成電路塑封時水氣或者高溫對器件的損壞,這種損壞常為裂縫或者脫層。
二、有損失效分析技術
1.打開封裝,通常有三種方法。全剝離法,ic集成電路完全損壞,只留下完整的芯片內部結構電路。瑕疵是由于內部結構電路和引線全部被破壞,無法再進行電動態分析。方法二局總去除法,三研磨機研磨ic集成電路表面的樹脂直至芯片。優勢是打開過種不損壞內部結構電路和引線,打開后可以進行電動態分析。方法三是自自動法用硫酸噴射達到局部去除的效果。
2.瑕疵定位,定位具體失效位置在ic集成電路失效分析中,是一個關鍵而困難的項目,瑕疵定位后才能發現失效原理及瑕疵特征。
a.Emission顯微鏡技術,具有非破壞性和快速精準的特性。它使用光電子探測器來檢測產生光電效應的區域。由于在硅片上產生瑕疵的部位,通常會發生不斷增長的電子--空穴再結全而產生強烈的光子輻射。
b.OBIRCH技術是利用激光束感應材料電阻率變化的測試技術。對不同材料經激光束掃描,可得到不同材料電阻率變化,這一方法可以測試金屬布線內部結構的那些可靠性隱患。
C.液晶熱點檢測通常由偏振顯微鏡,可調節溫度的樣品臺,以及控制電路構成。在由晶體各向異性變為晶體各向同性時,所需要的臨界溫度能量很小,以此來提高敏感度。另外相變溫度應控制在30-90度,偏振顯微鏡要在正交偏振光的使用,這樣可以提高液晶相變反應的敏感度。
3.電氣性能分析(探針臺)
根據飾電路的版圖和原理圖,結合芯片失效現象,逐步縮小瑕疵部位的電路范圍,最后利用微探針顯微技術,來定位瑕疵器件。微探針檢測技術,微探針的作用是測量內部結構器件上的電參數值,如工作點電壓、電流、伏安特性曲線。微探針技術通常伴隨電路分析配合使用,兩者可以較快地搜尋失效器件。
三、物理分析
1.聚焦離子束(FIB),由離子源,離子束聚焦和樣品臺組成。利用電鏡將離子聚焦成微波尺寸的切割器。聚焦離子束的細微精準切割,結合掃描電鏡的高分辨率成像,可以很好地解決剖面問題,定位精度可以達到0.1um以下,另外剖面過程過ic集成電路愛到的應力很小,完整地保存ic集成電路。
2.掃描電子顯微鏡(SEM),利用聚焦離子束轟擊器件面表,面產生許多電子信號,將這些電子信號放大作為調制信號,連接顯示器,可得到器件表面圖像。
透射電子顯微鏡(TEM),分辨率可以達到0.1nm,透射電子顯微鏡可以清晰地分析器件瑕疵,更好地滿足集成電器失效分析對檢測工具的解析要求。
3.VC定位技術基于SEM或FIB的一次電子束或離子束,在樣品表面進行掃描。硅片表面不現部位有不同電勢,表現出來不同的明亮對比,找出導常亮的點從而定位失效點。
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